分子束外延(MBE)
分子束外延(MBE)是一種可在原子尺度上精確控制外延厚度、摻雜和界面平整度的超薄層薄膜制備技術,是在一定的單晶體材料襯底上,沿著襯底的某個指數晶面向外延伸生長一層單晶薄膜。外延單晶薄膜在純度和性能上有比體單晶材料有明顯的改善,而且用外延術可以制造很難用其他方法制造的大面積或特殊材料的單晶薄膜。
分子束外延(MBE)是一種可在原子尺度上精確控制外延厚度、摻雜和界面平整度的超薄層薄膜制備技術,是在一定的單晶體材料襯底上,沿著襯底的某個指數晶面向外延伸生長一層單晶薄膜。外延單晶薄膜在純度和性能上有比體單晶材料有明顯的改善,而且用外延術可以制造很難用其他方法制造的大面積或特殊材料的單晶薄膜。